Micronic新推Prexision激光繪圖儀
全球最大的光掩膜設(shè)備供應(yīng)商Micronic Laser System公司日前在上海召開的一場光掩膜技術(shù)研討會(huì)上介紹了該公司剛剛發(fā)布的兩款用于液晶面板生產(chǎn)線的掩膜用激光圖形描繪儀。在新聞發(fā)布會(huì)篩分機(jī)械上,該公司旋流篩產(chǎn)品管理高級(jí)副總裁Jonas Hasselberg聲稱,屬于Prexision平臺(tái)的這兩款新設(shè)備將是“Micronic Laser System有史以來最大的技術(shù)提升”。1989年成立的Micronic總部位于瑞典首都斯德哥爾摩北部的Taby。該公司1993年向亞洲地區(qū)付運(yùn)了第一臺(tái)激光圖形描繪儀,并與1995年首次進(jìn)入中國市場。
Hasselberg表示,由于液晶面板的主要產(chǎn)能目前都聚集在了亞洲地區(qū),因此Micronic有近9喂料機(jī)0%的過濾篩分機(jī)營收都來自這個(gè)市場。他介紹說,除了歐洲總部和設(shè)在美國的分公司外,該公司其他的分支機(jī)構(gòu)大都設(shè)立在了包括中國大陸、中國臺(tái)灣、日本、韓國在內(nèi)的遠(yuǎn)東地區(qū)。
在液晶面板的生產(chǎn)流程中,激光圖形描繪儀擔(dān)任的是量產(chǎn)與設(shè)計(jì)之間的橋梁作用。CAD設(shè)計(jì)首先被轉(zhuǎn)成數(shù)據(jù)文件,然后再經(jīng)由激光圖形描繪儀和步進(jìn)式光刻機(jī),才能形成最終的TFT面8411電動(dòng)振篩機(jī)板GZ電磁震動(dòng)給料機(jī)。
“顯示器產(chǎn)業(yè)已經(jīng)開始向第十代液晶面板開始進(jìn)軍?!盚asselberg說,“基材尺寸正在變得越來越大,夏普已經(jīng)正式宣布了其第十代面板工廠的建設(shè)計(jì)劃,新一代工廠生產(chǎn)的3×3m2面板有望幫助實(shí)現(xiàn)65英寸液晶的大規(guī)模生產(chǎn),并將推動(dòng)42英寸液晶的進(jìn)一步降低。不過,這箱式給料機(jī)同時(shí)也將成為面煤矸石粉碎機(jī)板產(chǎn)業(yè)有史以來最大規(guī)模的投資,如何在大尺寸基材上提高良率、降低成本,才是產(chǎn)業(yè)最為關(guān)心的話題?!?
新推的Prexision-10就是針對(duì)夏普年中發(fā)布的十代廠而開發(fā)的。據(jù)稱,除了大幅提高了LCD所用到的鏈條式輸送機(jī)光掩膜的精度和質(zhì)量之外,相對(duì)于目前的產(chǎn)品生產(chǎn)力和可靠性也大大提高了。據(jù)稱,Micronic已經(jīng)接到了來自精細(xì)篩分機(jī)日本的兩臺(tái)Prexision-10訂單。該公司總裁兼執(zhí)行總監(jiān)Sven Lofquist表示,這是Micronic成立以來所接到的最大訂單。第一臺(tái)Prexision-10將于明年下半年交付客戶使用。
Prexision-10市場上的初戰(zhàn)告捷意味著該公司將繼續(xù)在接近1,000億美元的顯示器領(lǐng)域扮演領(lǐng)導(dǎo)者的角色。不過,在瞄準(zhǔn)10代技術(shù)的同時(shí),其兄弟產(chǎn)品Prexision-8也同時(shí)推出。據(jù)悉通過旋轉(zhuǎn)等流程,Prexision-8的用臥式振動(dòng)電機(jī)戶能夠借助一些細(xì)微的調(diào)整來改輥式破碎機(jī)善良率。Prexision-8還能夠向下兼容8代以下的各代液晶生產(chǎn)線。
上述兩款Prexision平臺(tái)產(chǎn)品都是基于LRS系列而建立的。不過,與現(xiàn)有的LRS輥式破碎篩分機(jī)15000相比,其在光感尺寸精度(CD)控制和位置校準(zhǔn)精度上都分別提高了30%和50%,并在消除色斑不均衡引起的云紋現(xiàn)象上有了顯著改善。此外,新設(shè)備的單位時(shí)間內(nèi)的吞吐量也比LRS15000 -TFT3高出60%,比LRS15000 -TFT2高出20%。
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